冷水機在真空鍍膜工藝中有什么作用？  

      真空鍍膜工作原理是膜體在高溫下蒸發落在工件表面結晶。由于空氣對蒸發的膜體分子會產生阻力造成碰撞使結晶體變得粗糙

無光，所以必須在高真空下才能使結晶體細密光亮，如果真空度不高結晶體就會失去光澤結合力也很差。早期真空鍍膜是依靠蒸發體

自然散射，結合差工效低光澤差。現在加上中頻磁控濺射靶用磁控射靶將膜體的蒸發分子在電場的作用下加速轟擊靶材，濺射出大量

的靶材原子，呈中性的靶原子（或分子）沉積在基片上成膜，解決了過去自然蒸發無法加工的膜體品種，如鍍鈦鍍鋯等等。

 為什么也要用水冷卻？磁控濺射靶在發射時會產生高溫會使射槍變形，所以它有一個水套來冷卻射槍。同時還有一個重要原因磁

控濺射可以被認為是鍍膜技術中最突出的成就之一。它以濺射率高、基片溫升低、膜-基結合力好。從更深層次研究電子在非均勻電磁

場中的運動規律 ,探討了磁控濺射的更一般原理以及磁場的橫向不均勻性及對稱性是磁約束的本質原因。磁控濺射可以被認為是鍍膜技

術中最突出的成就之一。它以濺射率高、基片溫升低、膜-基結合力好、裝置性能穩定。更多詳情請咨詢我司網站m.hbxyjd.cn